Hochpräzise pneumatische Komponenten mit Linearführung für Wafer-Transferarme in der Halbleiterindustrie

Der Zylinder: Das stangenlose Design spart axialen Platz und ermöglicht den Einsatz von Zylindern mit einem Hub von 800 mm auch in beengten Bereichen, ohne Überstand.

Der Zylinder: Der Betriebsdruck von 0,2–0,7 MPa (Prüfdruck 1,2 MPa) ist sowohl für leichte Präzisionsarbeiten als auch für schwere Anwendungen geeignet.

Der Zylinder: Erhältlich mit 4 verschiedenen Kolbenbohrungen (10–25 mm) und Hüben (50–800 mm), um individuelle Anforderungen schnell zu erfüllen.

Der Zylinder: Der Geschwindigkeitsbereich von 50–400 mm/s mit einem Zweikolbenantrieb ermöglicht hochfrequente Pick-and-Place-Zyklen.

Der Zylinder: Die integrierte Sensorschine ermöglicht die Verwendung von CMSH/DMSH-Sensoren zur Positionserkennung, ohne zusätzliche Halterungen.

Der Zylinder: Optionale Ölstoßdämpfer reduzieren die Stoßkräfte am Ende des Hubs bei schweren oder hochgeschwindigkeits Anwendungen und schützen so die Werkstücke.

Der Zylinder: Seltenerdmagnete erzeugen eine Haltekraft von >500 N (bei 25 mm Bohrung und 0,7 MPa), um ein Auseinanderkoppeln bei hohen Geschwindigkeiten zu verhindern.

Der Zylinder: Die integrierte Linearführung verhindert die Rotation des Schiebers und ermöglicht eine hochpräzise, geradlinige Bewegung in Montageanwendungen.

Der Zylinder: Die Schiebetischkonstruktion ermöglicht das Beladen von oben und von der Seite in beide Richtungen; das Gehäuse kann in beide Richtungen montiert werden, um die Anordnung der Vorrichtungen zu vereinfachen.

Der Zylinder: Eine Isolierleiste dichtet den Spalt zwischen Schieber und Zylinder ab und verhindert so das Eindringen von Staub in den Zylinder.